Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran

• Main Author: Heinrich, Jens
• Other Authors: Technische Universität Chemnitz
• Format: Doctoral Thesis
• Language: German
• Published: 2001
• Subjects: info:eu-repo/classification/ddc/540; ddc:540; info:eu-repo/classification/ddc/660; ddc:660; Siliciumcarbid; Bornitrid; MOCVD-Verfahren; Gaschromatographie; Infrarotspektroskopie; Raman-Spektroskopie; Methyltrichlorsilan; Trimethoxyboran; Mechanismus; Thermolyse
• Online Access: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200100127; https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17678; https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-0/; https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-1/; https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-2/

In dieser Arbeit werden Mechanismen zur thermischen CVD von Siliciumcarbid aus Methyltrichlorsilan (MTS) und von Bornitrid aus Trimethoxyboran-Ammoniak- Gasmischungen diskutiert. Dazu werden die gebildeten Schichten und die entstehenden Reaktionsgasphasen in Abhängigkeit von den Prozeßparametern Temperatur und Eduktgaszusammensetzung untersucht. Durch Zusatz der bei der MTS-Thermolyse entstehenden gasförmigen Produkte zum Eduktgasstrom können Korrelationen zwischen den Produktkonzentrationen in der Gasphase und deren Einfluß auf die abgeschiedenen Schichten aufgezeigt werden. An Hand dieser Ergebnisse wird für die MTS-Thermolyse ein Reaktionsschema aufgestellt, welches sowohl primäre und sekundäre Gasphasenreaktionen als auch Oberflächenreaktionen umfaßt. Darauf aufbauend wird eine Methode zur Ermittlung der Schichtzusammensetzung durch Analyse des Reaktionsabgases vorgestellt und mit den Ergebnissen der ESMA-Untersuchungen verglichen. Im zweiten Teil der Arbeit wird der Einfluß von Ammoniak auf die Thermolyse von Trimethoxyboran und die dabei entstehenden Schichten untersucht. Die Charakterisierung der Bornitrid/Boroxid-Schichten erfolgt durch Ramanspektroskopie. Zur qualitativen Analyse dünner BN-Schichten auf faserförmigen Substraten wird der Einsatz von oberflächenverstärkter Ramanspektroskopie vorgestellt.