Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran

Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran

Show other versions (1)

In dieser Arbeit werden Mechanismen zur thermischen CVD von Siliciumcarbid aus Methyltrichlorsilan (MTS) und von Bornitrid aus Trimethoxyboran-Ammoniak- Gasmischungen diskutiert. Dazu werden die gebildeten Schichten und die entstehenden Reaktionsgasphasen in Abhängigkeit von den Prozeßparametern T...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Heinrich, Jens
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 2001
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/540
ddc:540
info:eu-repo/classification/ddc/660
ddc:660
Siliciumcarbid
Bornitrid
MOCVD-Verfahren
Gaschromatographie
Infrarotspektroskopie
Raman-Spektroskopie
Methyltrichlorsilan
Trimethoxyboran
Mechanismus
Thermolyse
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200100127
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17678
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-1/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-2/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-200100127
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17678
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-1/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17678/attachment/ATT-2/

Similar Items