Elektronenmikroskopische Untersuchung der Bildung von CoSi$_{2}$-Schichten auf Si(001)

Elektronenmikroskopische Untersuchung der Bildung von CoSi$_{2}$-Schichten auf Si(001)

Show other versions (1)

Die Bildung von CoSi$_{2}$ bei der Festphasenreaktion duenner Co-Schichten mit Si(001)-Substraten bei verschiedenen Herstellungsverfahren wird elektronenmikroskopisch untersucht. Die Ergebnisse koennen mit RBS- und XRD-Resultaten korreliert werden. Praeparationsmethoden elektronentransparenter Probe...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Falke, Meiken
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 1999
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
Epitaxie
Cobaltdisilicid
Durchstrahlungselektronenmikroskopie
Kohlenstoff
Silicium
Cobaltsilicide
Festphasenreaktion
duenne Schichten
HRTEM
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900532
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17572
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-1/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-10/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-11/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-2/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-3/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-4/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-5/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-6/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-7/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-8/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-9/

Similar Items

Similar Items