$Elektronenmikroskopische Untersuchung der Bildung von CoSi$_{2}$-Schichten auf Si(001)$

Elektronenmikroskopische Untersuchung der Bildung von CoSi$_{2}$-Schichten auf Si(001)

Die Bildung von CoSi$_{2}$ bei der Festphasenreaktion duenner Co-Schichten mit Si(001)-Substraten bei verschiedenen Herstellungsverfahren wird elektronenmikroskopisch untersucht. Die Ergebnisse koennen mit RBS- und XRD-Resultaten korreliert werden. Praeparationsmethoden elektronentransparenter Probe...

Full description

Bibliographic Details
Main Author:	Falke, Meiken
Other Authors:	Technische Universität Chemnitz
Format:	Doctoral Thesis
Language:	German
Published:	1999
Subjects:	info:eu-repo/classification/ddc/530 ddc:530 Epitaxie Cobaltdisilicid Durchstrahlungselektronenmikroskopie Kohlenstoff Silicium Cobaltsilicide Festphasenreaktion duenne Schichten HRTEM
Online Access:	http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900532 https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17572 https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-0/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-1/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-10/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-11/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-2/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-3/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-4/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-5/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-6/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-7/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-8/ https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17572/attachment/ATT-9/

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