Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung

Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung

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Die Abscheidung dünner Schichten mit Hilfe von plasmagestützten Verfahren hat in den letzten Jahrzehnten als Technik zur Oberflächenveredelung und zur Herstellung funktioneller Schichten stark an Bedeutung gewonnen. Die Nichtgleichgewichtsbedingungen im Entladungsraum und an der Oberfläche der wachs...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Welzel, Thomas
Other Authors: Technische Universität Chemnitz
Format: Doctoral Thesis
Language:German
Published: 1999
Subjects:
info:eu-repo/classification/ddc/620
ddc:620
info:eu-repo/classification/ddc/660
ddc:660
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
Niederdruckentladung
Plasmadiagnostik
Laserinduzierte Fluoreszenz
LANGMUIR-Sonde
Optische Emissionsspektroskopie
DC-Magnetronzerstäubung
HF-Magnetronzerstäubung
dünne Schichten
kubisches Bornitrid
hexagonales Bornitrid
Online Access:http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17538
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17538/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17538/attachment/ATT-1/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17538/attachment/ATT-2/

Internet

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199900066
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A17538
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17538/attachment/ATT-0/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17538/attachment/ATT-1/
https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A17538/attachment/ATT-2/

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