Auto-assemblage de copolymères à blocs à haute force de ségrégation dans une configuration de film mince

Ce manuscrit de thèse porte sur la formation de masques de réseaux denses de nanopiliers ou nanotrous à partir de l'auto-assemblage de copolymères à blocs (CPB) à haute force de ségrégation, pour des applications dans la micro-électronique. Des copolymères à blocs, de type ABA, constitués d...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Reboul, Chrystilla
Language:fra
Published: Université Sciences et Technologies - Bordeaux I 2013
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01017175
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/01/01/71/75/PDF/REBOUL_CHRYSTILLA_2013.pdf