Auto-assemblage de copolymères à blocs à haute force de ségrégation dans une configuration de film mince
Ce manuscrit de thèse porte sur la formation de masques de réseaux denses de nanopiliers ou nanotrous à partir de l'auto-assemblage de copolymères à blocs (CPB) à haute force de ségrégation, pour des applications dans la micro-électronique. Des copolymères à blocs, de type ABA, constitués d...
Main Author: | |
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Language: | fra |
Published: |
Université Sciences et Technologies - Bordeaux I
2013
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01017175 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/01/01/71/75/PDF/REBOUL_CHRYSTILLA_2013.pdf |