Etude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie. Application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide

Etude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie. Application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide

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: Cette étude concerne la faisabilité de composants piézoélectriques partiellement libérés du substrat sur lequel ils sont fabriqués pour la réalisation de microsystèmes (MEMS). A base de PZT, ils sont microstructurés en forme de pont ou de poutres à l'aide de la technologie couche épaisse asso...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Castille, Christophe
Language:fra
Published: Université Sciences et Technologies - Bordeaux I 2010
Subjects:
[SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[SPI:NANO] Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Systèmes microélectroniques
Matériaux piézoélectriques
couche épaisse
micropoutres
capteurs
modélisation analytique et numérique
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00994195
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/99/41/95/PDF/these_C_CASTILLE_IMS.pdf

Internet

http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00994195
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/99/41/95/PDF/these_C_CASTILLE_IMS.pdf

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