Etude de la localisation de nanofils de silicium sur des surfaces Si3N4 et SiO2 micro & nanostructurées

Etude de la localisation de nanofils de silicium sur des surfaces Si3N4 et SiO2 micro & nanostructurées

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Les nanofils de semiconducteurs, d'oxides métalliques ou encore les nanotubes de carbone suscitent beaucoup d'intérêt pour des applications en nanoélectronique, mais également pour le développement de nanocapteurs chimiques ou biologiques. Cet intérêt pour les capteurs est principalement m...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Chamas, Hassan
Language:FRE
Published: INSA de Lyon 2013
Subjects:
[SPI:OTHER] Engineering Sciences/Other
[SPI:OTHER] Sciences de l'ingénieur/Autre
Electronique
Capteur de mesure
Capteur chimique
Capteur biologique
Capteur a nanofils
Nanofils de silicium
Charge de surface
Point de charge nulle
SiO2
Si3N4
Microstructuration de surface
Nanostructuration de surface
Impédance électrochimique
Angle de contact
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00961229
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/96/12/29/PDF/these.pdf

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