Etude de la localisation de nanofils de silicium sur des surfaces Si3N4 et SiO2 micro & nanostructurées
Les nanofils de semiconducteurs, d'oxides métalliques ou encore les nanotubes de carbone suscitent beaucoup d'intérêt pour des applications en nanoélectronique, mais également pour le développement de nanocapteurs chimiques ou biologiques. Cet intérêt pour les capteurs est principalement m...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
INSA de Lyon
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00961229 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/96/12/29/PDF/these.pdf |