Caractérisation des process de fabrication microélectroniques pour l'éco-conception des futures technologies
L'industrie microélectronique est engagée depuis longtemps dans des mesures visant à réduire ses impacts sur l'environnement, et ce sur toutes les phases du cycle de vie de ses produits. Sur les sites de fabrication, la suite logique à la mise en place de système de traitement des pollutio...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Grenoble
2013
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00957329 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/95/73/29/PDF/pdf2star-1392203284-33642_BAUDRY_2013_archivage.pdf |