Conception et réalisation d'un capteur MEMS multifonctions
La problématique entourant la mise en oeuvre, la conception et le conditionnement de micro-capteurs au sein d'une application embarquée représente un enjeu industriel majeur, consiste en un vaste ensemble de défis techniques et touche à de nombreux champs de recherche scientifiques comme d'...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paris Sud - Paris XI
2013
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00931959 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/93/19/59/PDF/VD2_LEGENDRE_OLIVIER_05072013.pdf |