Intégration sur silicium et caractérisation de films minces de polyuréthane nanocomposite pour le développement de micro-actionneurs MEMS électrostrictifs
Ce travail de thèse s'inscrit dans le cadre général du développement de micro-actionneurs MEMS, à bas coût et de technologie simple, pour de futures applications dans le domaine de la microfluidique, notamment. La motivation de ce travail est d'évaluer la faisabilité d'un micro-action...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
INSA de Lyon
2012
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00876878 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/87/68/78/PDF/these.pdf |