Analyse multi-physique des sources de défiabilisation du microcontact ohmique dans les interrupteurs MEMS

Analyse multi-physique des sources de défiabilisation du microcontact ohmique dans les interrupteurs MEMS

Les micro- et nanotechnologies (MNT) connaissent aujourd'hui un essor important dans des domaines très variés. On observe en particulier un développement des filières de micro-interrupteurs. En effet, les interrupteurs MEMS ont démontré un gain de performances significatif en comparaison avec l...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Broué, Adrien
Language:fra
Published: Université Paul Sabatier - Toulouse III 2012
Subjects:
[SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[SPI:NANO] Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Micro-interrupteur
MEMS RF
Microcontact
Résistance de contact
Fiabilité
Défaillance
Nanoindenteur
Température de contact
Or
Ruthenium
Rhodium
Nickel
Contact monométallique
Contact bimétallique
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00862813
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/86/28/13/PDF/THESE_-_A_BrouA_.pdf

Internet

http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00862813
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/86/28/13/PDF/THESE_-_A_BrouA_.pdf

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