Etude de matrices de filtres Fabry Pérot accordables en technologie MOEMS intégré 3D : Application à l'imagerie multispectrale

Etude de matrices de filtres Fabry Pérot accordables en technologie MOEMS intégré 3D : Application à l'imagerie multispectrale

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L'imagerie multispectrale permet d'améliorer la détection et la reconnaissance de cibles dans les applications de surveillance. Elle consiste à analyser des images de la même scène acquises simultanément dans plusieurs bandes spectrales grâce à un filtrage. Cette thèse étudie la possibilit...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Bertin, Hervé
Language:FRE
Published: Université Paris Sud - Paris XI 2013
Subjects:
[PHYS:COND:CM_GEN] Physics/Condensed Matter/Other
[PHYS:COND:CM_GEN] Physique/Matière Condensée/Autre
MOEMS
Imagerie multispectrale
Intégration 3D
Membrane
Miroir diélectrique
Contraintes résiduelles
Planéité
DRIE
XeF₂
Masque stencil
Alignement de wafers
Films secs
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00860624
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/86/06/24/PDF/VD2_BERTIN_HERVE_23072013.pdf

Internet

http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00860624
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/86/06/24/PDF/VD2_BERTIN_HERVE_23072013.pdf

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