Caractérisation et simulation de la contamination et de la décontamination moléculaire des containers plastiques (FOUPs) de l'industrie microélectronique

Caractérisation et simulation de la contamination et de la décontamination moléculaire des containers plastiques (FOUPs) de l'industrie microélectronique

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Dans l'industrie des semi-conducteurs, les plaques de silicium sont stockées dans des containers, appelés FOUPs (Front Opening Unified Pod) conçus à base de matériaux polymères (PC, PEEK, COP, PEI). De tels matériaux sont capables de sorber des contaminants moléculaires volatils et de les relar...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Nguyen, Thi quynh
Language:fra
Published: Université de Grenoble 2012
Subjects:
[SDU:STU] Sciences of the Universe/Earth Sciences
[SDU:STU] Planète et Univers/Sciences de la Terre
FOUP
Polymère
HF
HCl
Contamination moléculaire croisée
Simulation numérique
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00859687
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/85/96/87/PDF/33632_NGUYEN.pdf

Internet

http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00859687
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/85/96/87/PDF/33632_NGUYEN.pdf

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