Etude de la fiabilité de MEMS à fonctionnement électrostatique
Cette thèse résume les travaux concernant les essais de fiabilité des commutateurs RF MEMS capacitifs et ohmiques développé par le CEA-Leti.Dans le premier chapitre les mesures de raideur par la technique de nano-indentation sur des commutateurs MEMS réels sont complétées par des observations AFM, M...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Grenoble
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00858495 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/85/84/95/PDF/21218_KOSZEWSKI_2011_archivage.pdf |