Holographie électronique en champ sombre : une technique fiable pour mesurer des déformations dans les dispositifs de la microélectronique
Les contraintes font maintenant partie des " boosters " de la microélectronique au même titre que le SOI (silicium sur isolant) ou le couple grille métallique / diélectrique haute permittivité. Appliquer une contrainte au niveau du canal des transistors MOSFETs (transistors à effet de cham...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Grenoble
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00844107 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/84/41/07/PDF/30544_DENNEULIN_2012_archivage.pdf |