Élaboration et caractérisation de couches minces de dioxyde d'étain obtenues par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Relations entre propriétés structurales et électriques. Application à la détection des gaz.
Ce travail concerne l'élaboration de couches minces de dioxyde d'étain par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), en vue de réaliser l'élément sensible pour des capteurs de gaz. Une partie de cette étude a été consacrée à la conception et à la réalisation de l'instal...
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| Language: | FRE |
| Published: |
Ecole Nationale Supérieure des Mines de Saint-Etienne
1994
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00843714 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/84/37/14/PDF/19940622-Bruno-L-OCR.pdf |