Compensation de la fréquence des résonateurs MEMS pour des applications de référence temps

Compensation de la fréquence des résonateurs MEMS pour des applications de référence temps

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A l'heure actuelle, les Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) sont devenusincontournables dans les produits technologiques quotidiens. De par leur taille,leurs performances et leur intégration, les microsystèmes résonants se sontinscrits dans la diversification de la fameuse Loi de Moore. Cep...

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Bibliographic Details
Main Author:	Civet, Yoan
Language:	fra
Published:	Université de Grenoble 2012
Subjects:	[SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI:NANO] Sciences de l'ingénieur/Micro et nanotechnologies/Microélectronique MEMS Technologie SOI Résonateur électromécanique Caractérisation RF Oscillateur MEMS Détection capacitive
Online Access:	http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00838019 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/87/07/65/PDF/24263_CIVET_2012_archivage.pdf

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