Compensation de la fréquence des résonateurs MEMS pour des applications de référence temps
A l'heure actuelle, les Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) sont devenusincontournables dans les produits technologiques quotidiens. De par leur taille,leurs performances et leur intégration, les microsystèmes résonants se sontinscrits dans la diversification de la fameuse Loi de Moore. Cep...
Main Author: | |
---|---|
Language: | fra |
Published: |
Université de Grenoble
2012
|
Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00838019 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/87/07/65/PDF/24263_CIVET_2012_archivage.pdf |