Nouveaux matériaux pour antennes miniatures agiles en fréquence : synthèse et caractérisation diélectriques de films minces oxynitrures
Cette thèse porte sur le dépôt et la caractérisation diélectrique des matériaux perovskites La-Ti-O-N pour des applications antennaires hyperfréquences. Ces composés ont été déposés en couches minces par pulvérisation réactive à partir de cibles oxyde et oxynitrure. Selon le gaz réactif utilisé, plu...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université Rennes 1
2012
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00816525 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/81/65/25/PDF/LU_Yu.pdf |