Résonateurs à haute fréquence à ondes de volume en réalisatin MEMS sur tranche silicium
Le domaine des résonateurs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) est aujourd'hui le siège de diverses compétitions entre les producteurs afin d'améliorer les performances en terme de miniaturisation, intégrabilité, coûts de production etc. Ce travail de thèse s'inscrit dans un proje...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Franche-Comté
2012
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00803165 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/80/31/65/PDF/corpul_tezei-completv9.9.pdf |