Caractérisation et modélisation multiphysique de MEMS supraconducteurs pour une application en radioastronomie millimétrique
Des MEMS supraconducteurs ont été développés par l'IRAM pour des besoins instrumentaux dans les récepteurs hétérodyne large bande en millimétrique. Dans ce mémoire, la caractérisation de ces MEMS capacitifs par des mesures profilométriques, vibrométriques, aux rayons X , électriques et thermiqu...
Main Author: | |
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Language: | fra |
Published: |
Université de Grenoble
2011
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00768063 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/76/80/63/PDF/Manuscrit_-_Nouha_-_ALCHEIKH.pdf |