Caractérisation et modélisation multiphysique de MEMS supraconducteurs pour une application en radioastronomie millimétrique

Des MEMS supraconducteurs ont été développés par l'IRAM pour des besoins instrumentaux dans les récepteurs hétérodyne large bande en millimétrique. Dans ce mémoire, la caractérisation de ces MEMS capacitifs par des mesures profilométriques, vibrométriques, aux rayons X , électriques et thermiqu...

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Bibliographic Details
Main Author: Allouch, Nouha
Language:fra
Published: Université de Grenoble 2011
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00768063
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/76/80/63/PDF/Manuscrit_-_Nouha_-_ALCHEIKH.pdf