Electrical and chemical mapping of silicon pn junctions using energy-filtered X-ray PhotoElectron Emission Microscopy
Ce mémoire de thèse traite de l'étude de jonctions pn silicium planaires, réalisées par épitaxie localisée, avec un nouveau type de microscopie à émission de photoélectrons (XPEEM) filtré en énergie. L'objectif est d'améliorer notre compréhension des facteurs influençant l'imager...
Main Author: | |
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Language: | ENG |
Published: |
Université de Grenoble
2011
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00765630 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/76/56/30/PDF/Lavayssiere_Maylis_2011_archivage.pdf |