A study of interfaces and nanostructures by time of flight mass spectrometry : towards a spatially resolved quantitative analysis
Les dispositifs avancés pour la microélectronique intègrent divers matériaux et sont de dimensions nanométriques. Une connaissance précise de leur composition est requise pour améliorer leurs procédés de fabrication et comprendre leur comportement électrique. Le ToF-SIMS est un candidat intéressant,...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Grenoble
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00721832 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/72/18/32/PDF/PY_Matthieu_2011_archivage.pdf |