CONTRIBUTION AU DOMAINE DES ACTIONNEURS ET RÉSONATEURS MICRO-‐ÉLECTROMÉCANIQUES. APPLICATIONS À LA NANO‐CARACTÉRISATION.
Depuis 1996, mes activités de recherche se sont inscrites dans les champs des nanosciences, de la physique des semi-conducteurs, des micro/nanotechnologies, et des MEMS/NEMS (Micro/Nanosystèmes électromécaniques). En particulier, j'ai rejoint en octobre 2000 le groupe Microsystèmes Silicium de...
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| Language: | fra |
| Published: |
Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I
2012
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| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00706851 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/70/68/51/PDF/HDR_Bernard_Legrand_2012.pdf |