La lithographie par double impression pour les noeuds technologiques avancés
La lithographie par double impression est une solution potentielle proposée pour l'impression des circuits des nœuds technologiques avancés (22nm et au-delà) en attendant que la lithographie Extrême Ultraviolet soit prête pour la production en masse. La technique de double impression est basée...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Grenoble
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00637169 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/63/71/69/PDF/24148_ZEGGAOUI_2011_archivage_1_.pdf |