Interdépendance entre contraintes, transition de phase et nanostructure lors de la croissance par pulvérisation magnétron de films métalliques : application au système Mo/Si
Ce travail porte sur la compréhension des mécanismes de génération de la contrainte durant la croissance 2D de films métalliques de basse mobilité. L'évolution de la contrainte est suivie in-situ et en temps réel durant la croissance par pulvérisation magnétron de films Mo-Si par mesure de la c...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Poitiers
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00628047 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/62/80/47/PDF/TheseAmelieFillon2010.pdf |