Effet de l'humidité du gaz vecteur et de l'assistance UV dans le procédé aérosol CVD pour l'élaboration de couches mines fluorescentes dopées terre rare
Le développement de couches minces dopées terres rares a suscité un regain d'intérêt au cours des dernières années. Dans ce mémoire nous présentons l'élaboration des couches minces d'yttria (Y2O3), d'alumine (Al2O3) et les couches mixtes Y2O3-Al2O3 dopées erbium. La technique uti...
| Main Author: | |
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| Language: | fra |
| Published: |
Université de Grenoble
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00625424 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/62/54/24/PDF/ThA_se_-_S._-_Rached_-_V2.pdf |