Assemblage de microsystèmes 3D reconfigurables par contrôle en force : application aux MOEMS hybrides.
La thèse propose un concept de microbancs optiques reconfigurables (MOEMS 3D hybrides) à base d'éléments microfabriqués et assemblés à l'aide d'une station robotique : ces nouveaux bancs optiques combinent les avantages du micro-assemblage robotique et des techniques de microfabricati...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Franche-Comté
2010
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00560186 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/58/05/86/PDF/these_rabenorosoa_vf1.pdf |