Opto-numerical analysis of AIN piezoelectric thin film operating as an actuation layer in MEMS cantilevers
L'objectif de ce mémoire de thèse consiste à étudier et caractériser les propriétés de couche mince piézoélectrique de nitrure d'aluminium (AlN) utilisées comme une couche d'actionnement de micropoutres multimorphes actionnées piézoélectriquement et à évaluer leurs performances microm...
| Main Author: | |
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| Language: | ENG |
| Published: |
Université de Franche-Comté
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00544852 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/54/48/52/PDF/Katarzyna_Krupa_these_de_doctorat.pdf |