ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES DE NITRURE D'ALUMINIUM AlN PAR CVD HAUTE TEMPERATURE EN CHIMIE CHLOREE
En optoélectronique, l'avènement des technologies basées sur les nitrures du groupe III permettront une diminution de la consommation d'électricité dédiée à l'éclairage. Le nitrure d'aluminium, AlN, est particulièrement attractif pour la fabrication de diodes électroluminescentes...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00523292 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/52/32/92/PDF/ThA_se_A._Claudel_2009.pdf |