Etude et réalisation d'un micro-nano manipulateur avec retour de force : contribution à son intégration dans une plateforme multicapteurs
Nous avons développé les méthodes et instruments permettant de manipuler avec retour de force des objets de très petites dimensions (échelles micrométriques et nanométriques). L'utilisation de leviers de microscope à force atomique piézorésistifs permet de travailler dans un volume réduit et av...
Main Author: | |
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Language: | FRE |
Published: |
Université de Franche-Comté
2000
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Subjects: | |
Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00509641 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/50/96/41/PDF/these_jmfriedt.pdf |