Etude et réalisation d'un micro-nano manipulateur avec retour de force : contribution à son intégration dans une plateforme multicapteurs

Nous avons développé les méthodes et instruments permettant de manipuler avec retour de force des objets de très petites dimensions (échelles micrométriques et nanométriques). L'utilisation de leviers de microscope à force atomique piézorésistifs permet de travailler dans un volume réduit et av...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Friedt, Jean-Michel
Language:FRE
Published: Université de Franche-Comté 2000
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00509641
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/50/96/41/PDF/these_jmfriedt.pdf