Mesures de contraintes par spectroscopie et imagerie Raman dans des dispositifs micro-électroniques
La spectroscopie Raman est utilisée dans le cadre de la caractérisation locale des contraintes mécaniques en microélectronique. Les effets des déformations sur le spectre Raman du silicium sont étudiés de manière à établir un protocole expérimental. Les notions importantes de résolution et d'ob...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2006
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00479985 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/47/99/85/PDF/thesevflight.pdf http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/47/99/85/ANNEX/Soutenance_Eddy.ppt |