Etude et validation de boucles d'asservissement permettant le contrôle avancé des procédés en microélectronique : Application à l'étape d'isolation par tranchées peu profondes en technologie CMOS.
Ces travaux de cette thèse s'inscrivent dans la thématique du développement de techniques de contrôle avancé des procédés dans l'industrie de la microélectronique. Leur but est la mise en place de boucles d'asservissement permettant d'ajuster les paramètres d'un procédé de f...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Ecole Nationale Supérieure des Mines de Saint-Etienne
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00467446 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/46/74/46/PDF/20090226_TH_515_M_09_05_BELHARET_Djaffar.pdf |