Applications de techniques avancées de contrôle des procédés en industrie du semi-conducteur.
Cette thèse porte sur le développement d‘outils de contrôle avancé des procédés appliqués à l'industrie microélectronique. Des analyses statistiques ont mis en évidence la longueur de grille en poly-silicium comme principal responsable des variabilités lot à lot temporelle et spatiale des perfo...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Ecole Nationale Supérieure des Mines de Saint-Etienne
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00463241 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/46/32/41/PDF/20091005_TH_535_MI_09_25_JEDIDI_Nader.pdf |