Modélisation et conception des micro commutateurs RF MEMS a actionnement électrostatique et/ou piezoélectrique
La majorité des MEMS RF (Micro Electro Mechanical Systems Radio Fréquence) sont actionnés en utilisant une force électrostatique. La distance entre les deux électrodes est ainsi modifiée pour transmettre ou couper le signal RF. Ce type d'actionnement, malgré ses avantages, a un défaut majeur qu...
| Main Author: | |
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| Language: | English |
| Published: |
Université Paul Sabatier - Toulouse III
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00462560 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/46/25/60/PDF/Manuscript_These_Achkar_Hikmat_final.pdf |