Contribution à l'étude expérimentale du transport dans les transistors de dimensions déca-nanométriques des technologies CMOS sub-45nm

• Main Author: Fleury, Dominique
• Language: FRE
• Published: 2009
• Subjects: [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics; transistor MOS; caractérisation électrique; méthodologie d'extraction; longueur effective; mobilité; transport balistique; dérive-diffusion; fonction-Y; performance
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00461948; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/46/19/48/PDF/Manuscrit_de_these_Dominique_FLEURY_.pdf; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/46/19/48/ANNEX/Slides_Soutenance_de_these_Dominique_FLEURY_.pdf

La miniaturisation des composants électroniques qui permet aujourd'hui une intégration à grande échelle a été possible grâce aux innovations des procédés de fabrication. Ces modifications affectent profondément le comportement électrique des transistors MOS lorsque la longueur de grille devient inférieure à 100nm, altérant notre compréhension physique de ce dispositif. Ce travail de thèse se situe dans le domaine de l'étude des performances des transistors fabriqués dans les filières avancées (technologies sub-45nm) et l'analyse de leur réponse électrique. Il propose d'améliorer les méthodologies existantes et apporte de nouvelles techniques d'extraction qui permettent une analyse des paramètres électriques valide dans un environnement industriel, sur des transistors courts. L'utilisation des ces nouvelles techniques permet une compréhension physique plus juste, utile pour prédire les performances des technologies futures.