Contribution à l'étude expérimentale du transport dans les transistors de dimensions déca-nanométriques des technologies CMOS sub-45nm

La miniaturisation des composants électroniques qui permet aujourd'hui une intégration à grande échelle a été possible grâce aux innovations des procédés de fabrication. Ces modifications affectent profondément le comportement électrique des transistors MOS lorsque la longueur de grille devient...

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Bibliographic Details
Main Author: Fleury, Dominique
Language:FRE
Published: 2009
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00461948
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/46/19/48/PDF/Manuscrit_de_these_Dominique_FLEURY_.pdf
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