Procédés plasmas pour l'optimisation des matériaux intervenant dans le management thermique et la passivation de composants de puissance hyperfréquences à base de GaN et AlGaN
Ces travaux concernent la mise au point d'un procédé de synthèse de couches minces à basse température d'un matériau diélectrique à forte conductivité thermique pour la passivation de composants HEMT GaN hyperfréquence de puissance. A l'heure actuelle, les performances des composants...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université de Nantes
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00457286 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/45/72/86/PDF/these_global.pdf |