Modélisation et optimisation de capteurs de pression piézorésistifs
Depuis 1954, où leffet piézorésistif a été découvert dans Silicium, la démarche pour mesurer la pression a changé et de nouveaux dispositifs avec des performances remarquables sont apparus sur le marché. Grâce au développement des microtechnologies, une nouvelle famille de capteurs de pression piézo...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
INSA de Toulouse
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00432886 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/43/28/86/PDF/Michal_OLSZACKI_PhD_THESIS_LAAS.pdf |