De la couche sensible au système :dépôt par plasma froid et capteurs de gaz
Mes activités de recherches sont regroupées en trois parties principales allant de la couche sensible jusqu'au système. La première partie porte sur les plasmas froids. Le plasma, en tant que milieu physiquement et chimiquement très réactif, a essentiellement été utilisé pour le dépôt de couche...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
Université Paul Cézanne - Aix-Marseille III
2009
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00428567 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/42/85/67/PDF/HDR_Lauque.pdf |