Modélisationdu contact métal-métal: application aux micro-commutateurs MEMS RF

L'insertion des microcommutateurs MEMS RF nécessite une tension d'actionnement et des dimensions toujours plus petites, ce qui confère davantage d'importance aux effets de surfaces, si bien qu'une des principales limitations des performances des microcommutateurs est la qualité d...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Pennec, Fabienne
Language:fra
Published: Université Paul Sabatier - Toulouse III 2009
Subjects:
AFM
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00420496
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/42/04/96/PDF/rapport_these_FPENNEC.pdf