Développement de résonateurs électromécaniques en technologie Silicon On Nothing, à détection capacitive et amplifiée par transistor MOS, en vue d'une co-intégration permettant d'adresser une application de référence de temps

Développement de résonateurs électromécaniques en technologie Silicon On Nothing, à détection capacitive et amplifiée par transistor MOS, en vue d'une co-intégration permettant d'adresser une application de référence de temps

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Les résonateurs électromécaniques (MEMS), de part leurs bonnes performances, leur petite taille, ou encore leurs possibilités d'intégration au plus proche des transistors, présentent un fort potentiel pour le remplacement des quartz dans les applications de référence de temps.<br />Dans c...

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Bibliographic Details
Main Author: Durand, Cédric
Language:FRE
Published: Université des Sciences et Technologie de Lille - Lille I 2009
Subjects:
[SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
[SPI:MECA] Engineering Sciences/Mechanics
Résonateur électromécanique
MEMS
NEMS
Technologie Silicon On Nothing
Procédé front-end
Transistor à grille résonante
LRSG MOSFET
Détection par transistor MOSFET
Modélisation électromécanique
Caractérisation RF
Oscillateur MEMS
Intégration in-IC
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00375804
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/37/58/04/PDF/These_Cedric_Durand.pdf

Internet

http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00375804
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/37/58/04/PDF/These_Cedric_Durand.pdf

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