Simulation du comportement des capteurs de pression capacitifs microélectroniques
Ce mémoire porte sur la simulation numérique de la réponse des capteurs de pression capacitifs micro-électroniques. Les courbes de réponse du capteur capacitif classique, en fonction d'une pression constante, sont établies. L'auteur examine ensuite les modifications apportées à ces courbes...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
INSA de Toulouse
1993
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00345515 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/34/55/15/PDF/ratierPHD1993.pdf |