Développement sur substrat SOI mince de composants N-MEMS de type capteur inertiel et étude de la co-intégration avec une filière CMOS industrielle
L'objectif de cette thèse est de réaliser un capteur inertiel à partir d'un substrat SOI utilisé pour le nœud technologique CMOS 130 nm. L'objectif à long terme, afin de pouvoir adresser des applications grand public, est de fabriquer ce capteur comme une partie d'un circuit en u...
| Main Author: | |
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| Language: | FRE |
| Published: |
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00292361 http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/29/23/61/PDF/dss_0277.pdf |