Aide à la conception des microsystèmes

• Main Author: Juillard, Jérôme
• Language: FRE
• Published: Université Paris Sud - Paris XI 2007
• Subjects: [SPI:AUTO] Engineering Sciences/Automatic; [SPI:NANO] Engineering Sciences/Micro and nanotechnologies/Microelectronics; [INFO:INFO_MO] Computer Science/Modeling and Simulation; Couplage multi-physique; non-linéarité; incertitudes; aide à la conception; MEMS
• Online Access: http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00280542; http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/28/05/42/PDF/HDR_jj.pdf

Mes travaux ont pour but le développement de nouveaux outils de modélisation et de conception de capteurs MEMS, qui répondent aux problèmes intrinsèques aux MEMS (couplage multi-physique, non-linéarité, incertitudes) par des moyens adaptés. L'impossibilité de transposer directement des méthodes macroscopiques à un contexte MEMS motive une grande partie de mon travail.<br />Le présent texte a pour objectif d'exposer mes contributions aux domaines de la modélisation, de la simulation et de l'aide à la conception des MEMS. Il s'articule comme suit : <br />• Au premier chapitre, un panorama du domaine des MEMS et de leur physique est ébauché. Les difficultés dont il a été question plus haut y sont mises en relief.<br />• Le deuxième chapitre porte sur le traitement du couplage entre phénomènes physiques, dans un contexte de modélisation. Mes travaux de thèse y sont présentés. Ce chapitre aborde aussi le thème de la non-linéarité, inhérente à la physique des MEMS, dont le traitement, en simulation, s'apparente à celui du couplage.<br />• Le troisième chapitre montre comment les incertitudes et non-linéarités intrinsèques aux MEMS et les contraintes de la micro-électronique imposent le choix de certaines architectures de microsystèmes. Des méthodes d'identification à partir de données binaires, ainsi que plusieurs méthodes d'analyse des systèmes mixtes à comparateurs, y sont présentées. <br />• Enfin, au quatrième chapitre, je donne quelques pistes de développement de ces travaux.