Aide à la conception des microsystèmes

Mes travaux ont pour but le développement de nouveaux outils de modélisation et de conception de capteurs MEMS, qui répondent aux problèmes intrinsèques aux MEMS (couplage multi-physique, non-linéarité, incertitudes) par des moyens adaptés. L'impossibilité de transposer directement des méthodes...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Juillard, Jérôme
Language:FRE
Published: Université Paris Sud - Paris XI 2007
Subjects:
Online Access:http://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00280542
http://tel.archives-ouvertes.fr/docs/00/28/05/42/PDF/HDR_jj.pdf